本站讯（通讯员 兰馗博）2月4日，教育部应对新型冠状病毒感染肺炎疫情工作领导小组办公室发布《关于在疫情防控期间做好普通高等学校在线教学组织与管理工作的指导意见》（教高厅〔2020〕2号）。为更好地实现“停课不停学、停课不停教”，天津大学微电子学院电子科学与技术实验教学示范中心依托《微电子工艺技术原理》专业核心课程，将天津市级虚拟仿真实验项目成果在网络平台发布，在疫情防控期间开展线上实验教学工作。虽然同学们暂时还无法返校学习，但大家可以通过网络进入微电子工艺实验室进行学习。

　　集成电路的光刻工艺实验需要在净化室中进行，是一个很复杂的过程，有很多影响其实验结果的工艺变量。本实验教学系统为学生提供了一个与真实集成电路光刻工艺高度相似的人机交互环境，通过该虚拟环境，学生可以学习集成电路光刻工艺的具体过程，亲身操作真实环境下的光刻设备，丰富学生的学习体验。